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靜電消除器在半導體行業的應用

目錄:行業新聞點擊率:發佈時間:2018-11-28

文章出處:責任編輯:

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  靜電的危害無處不在,尤其對半導體行業廠家,本文介紹下靜電對半導體行業的危害以及靜電消除器解決辦法。

  半導體器件生產車間,由于塵埃吸附在芯片上,集成電路(IC)尤其是超大規模集成電路(VLSI)的成品率會大大下降。塵埃吸附,最大的原因是由于靜電。

  而IC受到ESD時,放電回路的電阻通常都很小,無法限制放電電流。例如將帶靜電的電纜插到電路接口上時,放電回路的電阻幾乎為零,這將造成高達幾十安培的瞬間放電尖峰電流流入相應的IC管腳。瞬間大電流會嚴重損傷IC,局部發熱的熱量甚至會融化硅片管芯。ESD對IC的損傷一般還包括內部金屬連接被燒斷、鈍化層被破壞、晶體管單元被燒壞等。 靜電給半導體材料行業帶來了難以估計的損失。
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  靜電解決方案:

  建議在生產流水線使用專門的靜電消除器離子風機。它們利用高壓電離出空氣中的電荷與物體上的靜電電荷相中和,從而達到消除靜電的目的,具有快速、穩定的特點。

  離子風機的選擇要求,離子平衡度,跟靜電消散時間必須達標,根據市場調研,韓國DIT是專門針對半導體、電子行業研發的靜電消除設備,在電子行業大量應用。

  客戶可根據需要選擇以下產品的靜電消除器

  AMF90離子風機:超高離子平衡度:低于30V,離子平衡度可調整。

  AMF-AE 離子風機:超高離子平衡度:低于平均30V,大范圍除靜電:200mm-1500mm可調節。

  ASF-AD/PD單頭離子風機:超高離子平衡度:低于10V,多級風速調節:5級風量可調(采用了120mm風扇,最大可達4.6m?/min)如果空間狹小可以選擇:袖珍型離子風機:SF-40A袖珍型離子風機,離子平衡度小于±10V!離子平衡度調整:可用十字螺絲刀轉動調節。

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